一、設(shè)備用途:
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。
二、氣相沉積爐設(shè)備特點:
1 立式結(jié)構(gòu),氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。
2 雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3 控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動及自動控制切換。自動化程度高,操作方便。
4 主要電器元件采用知名品牌,性能穩(wěn)定、可靠。
5 配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。